“不是一个概念。”
“是一个半导体器件的概念,目前主流媒体所说的技术节点便是这个。”
“一般来说约等于1/2*HPCD。”
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“其中11年Intel首先将Fi技术引入22nm节点。”
“22nm要求44nm的光刻HPCD。这个要求在实际工艺中很难实现,太接近38nm极限值了。”
“所以intel率先使用技术。这一技术把同一层的非常靠近的光刻图案分解到两个掩模(mask)上。分两次曝光实现。”
“同理,的技术也被引入,三次曝光,四次曝光都成为了可能。”
程钢听得满脸问号,内心对Young在半导体领域的造诣之深感到震惊。
五十岁的人了对前沿技术信手拈来,能做成IDG的合伙人果然都是狠人。
他没有打断Young,因为他对这方面也很感兴趣。
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